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半导体

半导体工业生产的硅片图像。

精度和洁净室合规对半导体制造业务至关重要。新方法®亚博vip2022最新版-网页版登录空气轴承提供了几种适亚博足球竞彩登录合半导体应用的严格要求的产品,包括:

  • 晶片检查
  • 晶片修复
  • 晶圆
  • 离子注入
  • Cleanroom-Compliant制造业

我们的多孔介质技术™通过坚硬、稳定的气垫实现非接触运动。这消除了对润滑的需求,并在高速下实现纳米级精度。空气的完美均匀分布将碰撞及其破坏性影响的担忧降至最低。

新道产品也相逢亚博足球竞彩登录1级(ISO 3级)洁净度空气中颗粒物浓度限值小于1000 × 0.1μm颗粒/m3..我们的多孔碳设计可作为微粒的亚微米过滤器,消除了污染和排气问题。

迎接芯片短缺的挑战

随着Covid-19大流行带来的供应链问题的拖延和升级,半导体行业已成为最受影响的行业之一最严重的影响.全球芯片短缺正在影响从汽车到消费电子产品和显卡的方方面面。亚博vip2022最新版-网页版登录空气轴承为效率和吞吐量的挑战提供了独特的解决方案,目前的制造压力已经在几乎所有涉及的行业中爆发。

非接触运动给半导体制造业带来了机会长期的改变.与易于改装通过我们的产品和内部服务,它从亚博足球竞彩登录来没有更容易利用多孔介质的速度,可靠性和精度。所有New Way产品固有的独特功能组合为半导体制造商提供了在不牺牲精度和质量的情况下提高操作效率的机会。亚博足球竞彩登录

半导体工业的应用

线性运动

新方式提供了几个产品设计的直线度和短行程直线运亚博足球竞彩登录动操作的晶圆生产在半导体行业。我们的平圆而且平面矩形轴承是最初设计用于坐标测量机(CMM),具有适合半导体行业的高精度标准。yabet亚博 是一种排列平整的圆形空气轴承。VPLs可以通过调整真空和压力来优化飞行高度和刚度。

我们的产品种类繁多空气套管加上允许半导体客户构建线性级,在不受滚珠轴承系统通常经历的热影响的情况下提供精度。

直线空气滑梯是我们半导体客户的热门选择,因为它们提供集成导轨和轴承系统。New Way提供了几种方法不同风格的幻灯片,所有这些都比传统的滚动轴承滑块提供了更好的性能。

旋转运动

New Way提供了几种选择精密转盘,可容纳一系列精度,用于晶圆检测和其他半导体制造操作。

根据您的要求,空气套管可以和我们搭配吗平圆空气轴承亚博vip2022最新版-网页版登录制作精密转盘。此外,yabo2022vip手机版 可用于提供下一级精度的旋转解决方案。这些解决方案中的每一个都能够与电机/编码器配对,以满足您所需的规格。

New Way还提供伺服驱动的旋转台,一个完全集成的解决方案,具有新方式空气主轴结合无刷,无槽电机,并提供标准和高分辨率编码器。伺服驱动的旋转台提供1.1弧秒的运动精度,并与他们易于改造,是半导体检测阶段的理想选择

输送

88yabo88 提供一种非接触式输送晶圆的方法,适合在洁净室环境中使用。新方式提供几种不同类型的空气棒,提供不同级别的控制,包括我们的精密区域空气棒,是晶圆探测和检测的理想选择。

空气轴承的好处亚博vip2022最新版-网页版登录

  • 事实上可重复性
  • 高速
  • 高刚度
  • 直运动
  • 零磨损
  • 零振动
  • 减少噪音

问题

yabo2020官方网站 如果您对我们的多孔介质空气轴承如何提高您的半导体业务有疑问。亚博vip2022最新版-网页版登录告诉我们更多关于您的申请今天,并获得免费咨询!


应用程序
旋转运动
工业车床上的主轴。
旋转运动

用于约束和支撑旋转组件的外径或内径。

线性运动
精密机床
线性运动

在金属或石头导轨上无与伦比的直线运动。

输送
平板显示器
输送

用于玻璃和FPD的非接触式运输。


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空中酒吧
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空气套管
衬套
空气套管

保税轴承
保税轴承
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扁矩形空气轴承亚博vip2022最新版-网页版登录
矩形轴承
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伺服驱动的旋转台
New Way的伺服驱动旋转工作台RT-100。
伺服驱动的旋转台

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轮轴承
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线性的幻灯片
线性的幻灯片
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真空预加载
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